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产品名称: 超高分辨场发射扫描电子显微镜 SU8600系列
产品型号:
产品时间: 2022-06-12
超高分辨场发射扫描电子显微镜 SU8600系列
SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高质量图像、大束流分析及长时间稳定运行的冷场成像技术,同时还大大提升了高通量、自动数据获取能力。

产品介绍

超高分辨场发射扫描电子显微镜 SU8600系列


先进的自动化功能:EM Flow Creator 允许客户创建连续图像采集的自动化工作流程。EM Flow Creator将不同的SEM功能定义为图形化的模块,如设置放大倍率、移动样品位置、调节焦距和明暗对比度等。用户可以通过简单的鼠标拖拽,将这些模块按逻辑顺序组成一个工作程序。经过调试和确认后,该程序便可以在每次调用时自动获得高质量、重现性好的图像数据。

灵活的用户界面:原生支持双显示器,提供灵活、高效的操作空间。6通道同时显示与保存,实现快速的多信号观测与采集。1,2,4 6通道信号可在同一个显示器上同时显示,可切换内容包括SEM各探测器以及样品室相机和导航相机。可以通过使用两个显示器来扩展工作空间,可定制的用户界面以提高工作效率。



超高分辨场发射扫描电子显微镜 SU8600系列


机型

SU8600

电子光学系统

二次电子像分辨率

0.6 nm@15 kV

0.7 nm@1 kV *

放大倍率

20 to 2,000,000   x

电子枪

冷场发射电子源,支持柔性闪烁功能,包含阳极烘烤系统。

加速电压

0.5 to 30 kV

着陆电压 *

0.01 to 20 kV

探测器

(部分为选配项)

上探测器(UD)

UD ExB能量过滤器,包含SE/BSE信号混合功能

下探测器(LD)

顶探测器(TD)

TD能量过滤器

镜筒内背散射电子探测器(IMD)

半导体式背散射电子探测器 (PD-BSED)

新型闪烁体式背散射电子探测器(OCD)

阴极荧光探测器(CLD)

扫描透射探测器(STEM Detector)

附件

(部分为选配项)

导航相机、样品室相机、X射线能谱仪(EDS)、背散射电子衍射探测器(EBSD)

软件

(部分为选配项)

EM Flow CreaterHD Capture(最高 40,960×30,720 像素)

样品台

马达驱动轴

5轴马达驱动(X/Y/R/Z/T

马达驱动轴

X0~110 mm

Y0~110 mm

Z1.5~40 mm

T-5~70°

R360°

样品室

样品尺寸

最大直径:150 mm



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