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产品名称: 热场式场发射扫描电镜 SU5000
产品型号:
产品时间: 2022-06-12
热场式场发射扫描电镜 SU5000
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产品介绍


热场式场发射扫描电镜 SU5000



高性能电子光学系统

二次电子分辨率: 顶位二次电子探测器(2.0 nm at 1kV)

高灵敏度: 高效PD-BSD, 低加速电压性能,低至100 V成像

大束流(>200 nA): 便于高效微区分析

性能优异

压力可变: 具有优异的低真空(10 -300 Pa)成像性能,配备高灵敏度低真空探测器(UVD)

开仓室快速简单换样(最大样品尺寸: Φ 200 mm x 80 mmH)




热场式场发射扫描电镜 SU5000


项目

内容

分辨率

1.2 nm @ 30 kV
  3.0 nm @ 1 kV
  2.0 nm @ 1 kV
减速模式*1
  3.0 nm @ 15 kV
低真空模式*2

放大倍率

10 - 600,000× (底片倍率), 18 - 1,000,000× (800 × 600 像素)
  30 - 1,500,000
× (1,280 × 960 像素)

电子光学系统

电子枪

ZrO /W 肖特基式电子枪

加速电压

0.5 - 30 kV   (0.1 kV 步进)

着陆电压

减速模式: 0.1 - 2.0 kV 1

最大束流

> 200 nA

探测器

低位二次电子探测器

低真空模式*2

真空范围: 10 - 300 Pa

马达台

马达台控制

5 - 轴自动 (优中心)

可动范围

X0100mm
  Y
050mm
  Z
365mm
  T
-2090°
  R
360°

最大样品尺寸

最大直径: 200 mm
 
最大高度: 80 mm

选配探测器

·           高分辨率顶位二次电子探测器1

·           高灵敏度低真空探测器 (UVD)

·           5分割半导体探测器 (PD-BSD)*3

·           能谱仪 (EDS)

·           波谱仪 (WDS)

·           背散射电子衍射探测器 (EBSD)


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