产品分类

您的位置:首页 > 产品中心 > > 显微镜 > 扫描电子显微镜 SU3800/SU3900

产品中心
产品名称: 扫描电子显微镜 SU3800/SU3900
产品型号:
产品时间: 2022-06-12
扫描电子显微镜 SU3800/SU3900
日立高新推出的扫描电镜SU3800/SU3900兼具操作性和扩展性,结合众多的自动化功能,可高效发挥其高性能。SU3900标配多功能超大样品仓,可应对大型样品的观察。

产品介绍

扫描电子显微镜 SU3800/SU3900

SU3900标配多功能超大样品仓,可应对大型样品的观察

■样品台可搭载超大/超重样品

·         通过更换样品提示,可防止由于与样品的接触而损坏设备或样品

·         选配样品交换仓,可在主样品仓保持真空的状态下快速更换样品,大大提高了工作效率

·         具备样品台移动限制解除功能,提高了自由度*

·         红外CCD探测器,提高了样品台移动的安全性

■支持全视野移动。SEM MAP支持超大样品的全视野观察

·         GUI联合,可配备样品仓室导航相机

·         覆盖整个可观察区域

·         支持360度旋转


②随着各种自动化功能的强化,操作性能得到了进一步优化。

■一个鼠标就能够轻松操作的简约GUI

■各种自动化功能

·         自动调整算法经改良后,等待时间减少至以往的1/3以下(S-3700N比例)

·         提高了自动聚焦精度

·         搭载Intelligent Filament TechnologyIFT

Multi Zigzag,可实现多区域的大视野观察

Report Creator,可利用获得的数据批量生成数据报告

③可提供满足测试需求的应用解决方案

■可满足多种观察需求的探测器

·         搭载高灵敏度UVD*,支持CL观察

·         高灵敏度半导体式背散射电子探测器,切换成分/凹凸等多种图像

■配备了多功能超大样品仓,可以搭载多种配件

>SEM/EDS一体化功能*

■三维显示测量软件 Hitachi Map 3D*

■支持图像测量软件Image pro

*配件


扫描电子显微镜 SU3800/SU3900

ITEM

SU3800

SU3900

二级电子分解能

3.0nm(加速电压30kVWD=5mm、高真空模式)

15.0nm(加速电压1kVWD=5mm、高真空模式)

背散射电子分解能

4.0nm(加速电压30kVWD=5mm、低真空模式)

倍率

×5~×300,000(照片倍率*1

×7~×800,000(实际显示倍率*2

加速电压

0.3kV30kV

低真空度设定

6650 Pa

图像位移

±50µmWD10mm

最大样品尺寸

200mm直径

300mm直径

样品台

X

0100mm

0150mm

Y

050mm

0150mm

Z

565mm

585mm

R

360°连续

T

20°~+90°

最大可观察范围

130mm直径(R并用)

200mm直径(R并用)

最大可观察高度

80mmWD=10mm

130mmWD=10mm

电机驱动

5轴电机驱动

电子光学系统

电子枪

中心操控式钨丝发射

物像镜头光圈

4孔可动光圈

检测系统

二级电子检测器、高灵敏半导体背散射电子检测器

EDX分析WD

WD10mmT.O.A35°)

图像显示

自动光轴调整功能

自动光束调整(AFSABAAFCABCC

自动光轴调整(实时级别对齐)

自动调整光束亮度

自动图像调整功能

自动亮度和对比度控制(ABCC

自动对焦控制(AFC

自动标记和焦点功能(ASF

自动灯丝饱和度调整(AFS

自动光束对准(ABA

自动启动(HV-ONABCCAFC

操作辅助功能

光机旋转、动态聚焦、图像质量改善功能、数据输入(点对点测量、角度测量、文本)、预设放大、样品台位置导航功能(SEM   MAP)、光束标记功能

配件

■硬件:轨迹球、操纵杆、操作面板、压缩机、高灵敏度操作低空探测器(UVD)、红外CCD探测器、摄像机导航系统■软件:SEM数据管理器外部通讯接口、3D捕获、装置台移动限制解除功能、EDS集成

配件(外部装置)

能量散射X射线分析仪(EDS)、波长色散X射线分析仪(WDS)、
 
各种外部功能台(加热台、冷却台、牵引台)


相关产品

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
在线客服
返回顶部